2、集成電路:電機(jī)驅(qū)動芯片、MCU、DSP、FPGA、第三代半導(dǎo)體、電源管理、數(shù)模轉(zhuǎn)換器、傳感器、功率半導(dǎo)體等
3、半導(dǎo)體制造設(shè)備與核心零部件:固態(tài)微波源、等離子體放電腔、電源、真空泵、溫控器、自動化軟件、流量控制器、石英器件等
4、特種元器件暨自主創(chuàng)新示范區(qū):集成電路、固態(tài)微波器件、真空器件、光電器件、特種元件、通用元件、北斗、雷達(dá)、支撐基礎(chǔ)以及電子功能原材料、設(shè)計軟件、制造工藝設(shè)備、儀器儀表等